深紫外微腔激光器及其制备方法【中国发明】

一、专利名称及专利号

名称：《深紫外微腔激光器及其制备方法》

专利号：ZL  201910827798.X

二、应用领域

本发明属于激光器技术领域，尤其涉及一种深紫外微腔激光器及其制备方法。

三、专利说明

1、摘要：

本发明属于激光器技术领域，尤其涉及一种深紫外微腔激光器，包括：微晶玻璃载体和生长在所述微晶玻璃载体内部的稀土纳米晶体，所述稀土纳米晶体包括纳米晶载体和稀土离子，所述稀土离子包括：Ho3+、Tm3+中的至少一种，以及Yb3+。本发明提供的深紫外微腔激光器，以微晶玻璃作为微腔激光器的基体，微晶玻璃具有优异的热稳定性和化学稳定性，为直接均匀生长在微晶玻璃载体内部的稀土纳米晶体提供基体，使深紫外微腔激光器具有优异的热稳定性和化学稳定性，不但适用于高温激发提高了微腔激光器耐激发性和使用寿命，而且适用于高密度激发提高了微腔激光器的深紫外发射效率。

2、背景：

近年来，低成本深紫外微腔激光器(＜300nm)相比同步辐射、气体放电等非相干光源，具有光子能量高、光谱分辨率高、光子流强且密度大、可低重频至高重频及纳秒多种运转模式等特色，在空气、水、食物杀菌消毒净化、微精细材料加工、光刻、光印刷、高分辨光谱学、微电子学、光生物学、超高密度光驱、紫外固化、医疗和科学研究等领域有广泛的应用前景。通过对深紫外激光光源的选择，可使其聚焦斑点尺寸降低到几十纳米的范围。这不仅有利于提高光学数据存储精密度，还有助于实现非接触光刻系统。此外，较强的紫外信号在地球大气层中的传输距离仅仅为几公里，其在短距离的信息传输上将避免信号的截取及外来信号的干扰，因此便携式深紫外激光器将成为短距离无线通信的理想载体，尤其是在军事上可用于紫外通讯、高能激光武器、激光雷达、高精度激光测距等，极大地提高我国的军事力量，具有非常重要的意义。

目前，由于激光器极低的上转换发光效率和热稳定性差，难以实现通过近红外激光激发小于300nm的深紫外激发发射。

四、相关文件下载

专利证书：/UploadFiles/20220707/202207071453008181.pdf

专利详情：/UploadFiles/20220707/20220707145381068106.pdf