一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件【中国发明】

一、专利名称及专利号

名称：《一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件》

专利号：ZL202110245352.3

二、应用领域

  本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件。

三、专利说明

1、摘要：

  本发明公开了一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件，包括：基板和设置于所述基板上的相位精准度检测模块和空间分辨率检测模块，所述相位精准度检测模块由具有不同旋转角度的若干第一超构表面组成，所述空间分辨率检测模块由具有不同尺寸和不同间距的若干第二超构表面组成。本发明通过集成不同旋转角度的超构表面来产生多阶相位分布，实现相位测量系统的相位测量精准度检测，通过调节超构表面的整体尺寸和超构表面之间的间距，实现相位测量系统的空间解析度检测。

2、背景：

  光学和电磁波的特性中包含了振幅、偏振和相位，光学系统的能力需要通过标准分析片来检测，分辨率测试卡是光学成像系统能力检测的标准，可以对光的振幅进行分析，提供实际成像情况在振幅方面的垂直分辨率和水平分辨率等辅助测试。 
目前用于测量光学成像元件的分辨率测试卡包含了垂直解像力条、对比指示条、对角线解像力条、中央对焦区、水平解像力条，分别用于测量光学成像元件的垂直影像的解像力，不同空间频率的对比，45度倾斜的对角线解像力，对焦同心圆以及对水平影像的解像力。随着科技的进步以及微纳光学与光学元件的发展，相位测量系统也被发展出来用于检测光学元件的相位信息，但目前缺乏针对相位检测的标准分析元件来检测相位测量系统的相位精准度。
  因此，现有技术有待于进一步地改进。

四、相关文件下载

专利证书：/UploadFiles/20231214/20231214165826362636.pdf

专利详情：/UploadFiles/20231214/20231214165886438643.pdf